鈦鈮酸鍶膜光敏傳感元件的制備與特性分析
作者：廖榮; 劉慧君; 柯嘉聰; 李涌春; 廖鴻韜; 羅志勇 華南理工大學電子與信息學院; 廣東廣州510640
摘要：利用鍍膜技術和硅平面工藝在經過干氧氧化的硅襯底上制備一層鈦鈮酸鍶(Sr NbxTi1-xO3)薄膜,然后制備成平面型薄膜光敏傳感器。對鈦鈮酸鍶薄膜的吸收光譜進行測定,得到其禁帶寬度為2. 70 e V,對可見光有良好的敏感性。樣品在穩(wěn)定光照下,光電流隨照度的增大而增大;溫度對光敏特性影響很大,本傳感器適用于穩(wěn)定光照和室溫下使用。
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傳感器與微系統(tǒng)雜志
傳感器與微系統(tǒng)雜志， 月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內容涉及的欄目：綜述與評論、研究與探討、設計與制造、計算與測試、應用技術等。于1982年經新聞總署批準的正規(guī)刊物。
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