靶丸X射線光學(xué)厚度的精密檢測
作者：王琦; 高黨忠; 唐興; 馬小軍; 王宗偉 中國工程物理研究院激光聚變研究中心; 四川綿陽621900
摘要：為了精密檢測靶丸X射線光學(xué)厚度均勻性,建立了基于精密軸系和光纖陣列探測的靶丸X射線光學(xué)厚度檢測裝置,開展了光學(xué)厚度輪廓儀光路精密調(diào)校技術(shù)的研究,應(yīng)用白光共焦光譜技術(shù)和光學(xué)顯微成像技術(shù),解決了氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)精密調(diào)整、X射線光路對(duì)中的難題,實(shí)現(xiàn)了對(duì)塑料靶丸殼層缺陷、表面質(zhì)量、壁厚均勻性、殼層材料成分均勻性等多種耦合擾動(dòng)綜合效應(yīng)的表征。對(duì)系統(tǒng)的穩(wěn)定性進(jìn)行了測試,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)的測量重復(fù)性偏差可基本控制在0.01%以內(nèi),空間分辨率約為100μm,滿足ICF靶物理研究對(duì)靶丸X射線光學(xué)厚度擾動(dòng)的高精度檢測需求。
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光學(xué)精密工程雜志
光學(xué)精密工程雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：現(xiàn)代應(yīng)用光學(xué)、微納技術(shù)與精密機(jī)械、信息科學(xué)等。于1959年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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