高溫化學(xué)腐蝕加工多孔碳化硅陶瓷的表征及機(jī)理
作者：劉善勇; 王玉玲; 孫樹峰; 邵晶; 劉慶玉; 王津 青島理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院; 山東青島266520
摘要：探討高溫化學(xué)腐蝕加工SiC陶瓷工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響,分析SiC陶瓷的腐蝕機(jī)理。分別用失重法和Archimedes法測(cè)量試樣的腐蝕速率和氣孔率;用XRD、SEM、粗糙度測(cè)試儀對(duì)試樣表面的形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征。結(jié)果表明:隨著溫度和KOH濃度升高,腐蝕速率加快,溫度高于堿溶液沸點(diǎn)時(shí),腐蝕效果顯著提高;堿溶液濃度過(guò)高會(huì)造成氣孔率下降,升高溫度可減緩氣孔率下降;在優(yōu)化的工藝參數(shù)下,高溫化學(xué)腐蝕能夠降低樣品粗糙度,最低約為1.6μm;表面質(zhì)量得到改善,輪廓支承長(zhǎng)度率Rmr提高,Rmr(50%)達(dá)到89.70%;腐蝕溫度過(guò)高或時(shí)間過(guò)長(zhǎng)將造成晶粒脫落,導(dǎo)致表面質(zhì)量大幅下降;此外,與機(jī)械加工試樣相比,高溫化學(xué)加工后的樣品未出現(xiàn)裂紋,表面經(jīng)簡(jiǎn)單清洗無(wú)反應(yīng)物殘留。
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航空材料學(xué)報(bào)雜志
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