超快激光制備PMMA微流道機(jī)理及工藝研究
摘要：由于傳統(tǒng)加工方法不能解決PMMA微流道的加工質(zhì)量不好和效率低的問題,本文對超快激光直寫PMMA制備微流道的燒蝕機(jī)理和工藝參數(shù)進(jìn)行了研究。根據(jù)實(shí)驗(yàn)分析不同的激光功率、加工速度和加工次數(shù)對微流道的寬度和橫截面的影響規(guī)律,利用超快激光加工系統(tǒng)制備微流道,并采用超景深三維顯微鏡觀測微流道的表面形貌。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,當(dāng)超快激光的加工速度為20 mm/s時(shí),激光功率為1.5 W時(shí),制備的微流道的寬度較小、寬度趨勢比較平穩(wěn);當(dāng)超快激光作用PMMA的次數(shù)一樣,由于加工速度逐漸增加,制備的微流道其寬度和激光的加工速度保持線性增加。當(dāng)加工速度越大時(shí),微流道的寬度較小、且壁面趨勢相對平緩,而當(dāng)加工速度一定,超快激光的輸出功率在1.5 W時(shí),微流道內(nèi)壁區(qū)域不易出現(xiàn)殘?jiān)逊e和氣泡隆起現(xiàn)象。本文通過優(yōu)化超快激光加工系統(tǒng)的工藝參數(shù),從而加工出尺寸精度高、表面光滑、寬度為20~90μm的微流道芯片。
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激光與紅外雜志
激光與紅外雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述與評論、激光技術(shù)、紅外技術(shù)、光電器件、光電材料、市場動態(tài)、文獻(xiàn)信息等。于1971年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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