斜面終端結(jié)構(gòu)對二極管反向雪崩電流耐量影響的研究
作者：王志忠; 關(guān)艷霞 沈陽工業(yè)大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院; 沈陽110870
摘要：為提高二極管雪崩擊穿電流耐量,從斜角終端入手進(jìn)行分析研究,利用Silvaco TCAD仿真軟件對正、負(fù)斜角終端P+PNN+結(jié)構(gòu)二極管雪崩擊穿電流的分布進(jìn)行了仿真分析。仿真結(jié)果表明,當(dāng)發(fā)生雪崩擊穿時(shí),正斜角結(jié)構(gòu)二極管的雪崩擊穿電流集中在體內(nèi),負(fù)斜角結(jié)構(gòu)二極管的則主要發(fā)生在邊緣處,從而證明正斜角終端更有利于提高二極管的雪崩電流耐量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果中正斜角結(jié)構(gòu)的雪崩電流值明顯大于負(fù)斜角結(jié)構(gòu)的數(shù)值,測試結(jié)果與仿真分析的預(yù)測一致,說明將負(fù)斜角改為正斜角是提高二極管雪崩電流耐量的有效技術(shù)措施。
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微處理機(jī)雜志
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